新闻资讯

当前位置: 网站首页 >新闻资讯 >行业新闻

半导体元件双端面磨床,实现半导体材料低损伤加工

2025-12-11
63次


半导体元件作为电子信息产业的核心基础,其加工质量直接影响电子设备的性能和可靠性。半导体元件多采用单晶硅、碳化硅、氮化镓等硬脆半导体材料制成,这类材料硬度高、脆性大,加工过程中极易产生崩边、裂纹、表面损伤等缺陷,对磨削设备的精度和磨削方式提出了严苛要求。半导体元件双端面磨床针对半导体材料特性设计,实现低损伤、高精度磨削。
大兴设备聚焦半导体加工设备领域,研发的半导体元件双端面磨床在低损伤加工方面表现突出。设备采用超精密主轴系统,转速稳定且振动极小,有效减少磨削过程中对半导体元件的冲击。在磨削工艺上,设备采用微磨削技术,配合金刚石砂轮或 CBN 砂轮,实现对半导体元件的微量去除,降低磨削力,从根源上减少崩边、裂纹等损伤。同时,设备配备高精度装夹机构,通过柔性定位和吸附装夹方式,避免半导体元件在加工过程中出现应力损伤。
在精度控制方面,大兴设备的半导体元件双端面磨床搭载激光干涉仪检测系统,实时监测磨削精度,确保半导体元件两端面的平行度、平面度和尺寸精度达到微米级甚至纳米级标准。设备还优化了冷却系统,采用专用冷却介质和的冷却方式,及时带走磨削热量,避免半导体元件因热应力产生损伤。该设备广泛应用于半导体晶圆、芯片基片、半导体传感器等元件的加工,通过低损伤、高精度的加工能力,帮助半导体制造企业提升产品质量和良率。大兴设备的半导体元件双端面磨床,为电子信息产业的高质量发展提供了重要保障。


联系我们contact us

服务热线:400-0574-918

销 售 部:15968496601 13362875578

生 产 部:13306616626

售 后 部:18957489890 15968496601

客 服 部:18957441317